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      電子氣

       

       

      電子氣:
          按組分的性質分類,大致分為三類,即單質類氣體(O2、N2、Ar、H2、He)、化合物類氣體(SiH4硅烷、PH3磷烷、AsH3砷化氫、CO一氧化碳、B2H6乙硼烷、Hcl氯化氫、NH3氨、CF4四氟甲烷、SiF4四氟硅烷等)、混合物類氣體(SiH4+稀釋氣(Ar、N2)、PH3+稀釋氣(Ar、N2)、NH3+稀釋氣(Ar、N2)等)。



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